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工程案例

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直線固晶機案例視頻

高精度的耦合YZ平臺,可在Y和Z反向運動長行程

- Y軸行程最大可至200mm

- Z軸行程最大可至50mm

- 低運動負載(Z軸定子不會隨著運動而成為移動負載)

- Y和Z方向的超高加速度

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